汽車MEMS傳感器的應用與主要廠商盤點

據調研機構Yole Developpement發布,2017年MEMS市場總額預計為129億美元,比2016年的114億美元增長了13%。隨著萬物互聯時代越走越近,市場對于MEMS產品的需求還將進一步提升。MEMS的全稱是微型電子機械系統(Micro Electromechanical System),是利用半導體制造工藝和材料,將傳感器、執行器、機械機構、信號處理和控制電路等集成于一體的微型器件或系統,其內部結構一般在微米甚至納米量級。與傳統的機械傳感器相比,MEMS傳感器具有體積小、集成化、智能化、低成本等優點,可以滿足物聯網時代對于傳感器的要求。
MEMS是一項革命性的新技術,廣泛應用于高新技術產業,是一項關系到國家科技發展、經濟繁榮和國防安全的關鍵技術。常見的產品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器等以及它們的集成產品。
汽車MEMS傳感器的應用
汽車電子行業被認為是MEMS傳感器的波應用高潮的推動力量,MEMS傳感器在汽車上應用的快速發展主要是受益于各國*全面推出汽車安全規定和汽車智慧化的發展趨勢。平均每輛汽車包含10個傳感器,在汽車中,大約采用25至40只MEMS傳感器,車越好,所用的MEMS就越多。MEMS傳感器不僅能適應汽車苛刻的工作環境,還具有高可靠性、高精度和低成本的特點。其應用方向和市場需求包括車輛的防抱死系統(ABS)、電子車身穩定程序(ESP)、電控懸掛(ECS)、電動手剎(EPB)、斜坡起動輔助(HAS)、胎壓監控(EPMS)、引擎防抖、車輛傾角計量和車內心跳檢測等等。目前,壓力傳感器、加速度計、流量傳感器與陀螺儀四種器件合計占汽車MEMS系統的99%。

1、MEMS壓力傳感器

MEMS壓力傳感器是汽車中應用多的傳感器, 至少18個汽車應用領域促進壓力傳感器的增長,包括:輪胎壓力,電子穩定控制系統中的剎車傳感器,側面氣囊,與日益嚴格的排放標準相關的引擎控制,大氣壓力與廢氣再循環壓力。這種傳感器用單晶硅作材料,以采用MEMS技術在材料中間制作成力敏膜片,然后在膜片上擴散雜質形成四只應變電阻,再以惠斯頓電橋方式將應變電阻連接成電路,來獲得高靈敏度。車用MEMS壓力傳感器有電容式、壓阻式、差動變壓器式、聲表面波式等幾種常見的形式。

2、MEMS加速度計

MEMS加速度計的原理是基于牛頓的經典力學定律,通常由懸掛系統和檢測質量組成,通過微硅質量塊的偏移實現對加速度的檢測,主要用于汽車安全氣囊系統、防滑系統、汽車導航系統和防盜系統等,除了有電容式、壓阻式以外,MEMS加速度計還有壓電式、隧道電流型、諧振式和熱電偶式等形式。其中,電容式MEMS加速度計具有靈敏度高、受溫度影響極小等特點,是MEMS微加速度計中的主流產品。